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28纳米光刻机。28纳米已经是目前炎国国内光刻机的顶尖水平。在目前全球光刻机市场中,asl、佳能以及尼康是最大的三家供应商,他们占据了全球99的市场份额。佳能和尼康主要生产22纳米的“低端”duv光刻机,而asl大部分产品都是更高端的euv光刻机。duv和euv实际区别就是光源,duv指“深紫外线”,euv指“极深紫外线”,听名字就能感觉到euv技术更加牛逼。确实也是如此,duv光刻机的光源波长为193纳米,euv光源波长为135纳米,而且euv光源并非地球上天然存在的光线,需要特定的技术和设备才能够制造出来的。在光源波长越短,折射率越大,能量越大的原理下,光源波长为193纳米的duv光源一般只能实现25纳米制程,i凭借工作台模式做到了10纳米,但后续再也无法突破10纳米。太积电也强行用duv光源生产过放出来了,主要是一写国相关的就容易自动进去,必须等编辑解开才行。呼吁一下大大们,喜欢的话麻烦各位多多订阅,谢谢啦
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